半導体ウエハーに必要なシリコンや、サファイアなどの単結晶を引き上げるためのロードセルです。

特長

• 従来以上のオーバーロード保護
• 大口径インゴット引き上げ時のシードタッチの微小荷重の計測が可能な二段式（二出力）タイプ
• 差動出力によりノイズに強い
• 荷重感度部に非直線、ヒステリシス、繰り返し性が0.02％ R.O. と高性能、高分解能のロードセルを使用
• 温度特性は、0.03％ R.O./10℃（ゼロ点変化＋感度変化）と非常に安定している