半導体ウエハーに必要なシリコンや、サファイアなどの単結晶を引き上げるためのロードセルです。

特長

• 荷重感度部（ロードセル）、増幅部、スリップリング、収納する容器より構成
• 荷重感度部に非直線、ヒステリシス、繰り返し性が0.02％ R.O.と高性能、高分解能のロードセルを使用
• 温度特性は、0.03％ R.O./10℃（ゼロ点変化＋感度変化）と非常に安定している
• 回転ノイズ特性が非常に良い
• オーバーロード保護機能