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専用型ロードセル

専用型ロードセル

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引上機用ロードセル TT-XNS

半導体ウエハーに必要なシリコンや、サファイアなどの単結晶を引き上げるためのロードセルです。

特長
  • 荷重感度部(ロードセル)、増幅部、スリップリング、収納する容器より構成
  • 荷重感度部に非直線、ヒステリシス、繰り返し性が0.02% R.O.と高性能、高分解能のロードセルを使用
  • 温度特性は、0.03% R.O./10℃(ゼロ点変化+感度変化)と非常に安定している
  • 回転ノイズ特性が非常に良い
  • オーバーロード保護機能

引上機用ロードセル TT-XNⅡ

引上機用ロードセル TT-XNS(G)

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